HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀簡介：

橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學測量技術(shù)，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過率。

技術(shù)參數(shù)：

      * 光譜范圍: 190-885 nm（可擴展至2100nm）

      * 微光斑可選50μm-100μm-1mm

      * 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器

      * 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選

      * 自動量角器：變角范圍40° - 90°，全自動調(diào)整，小步長0.01°

主要特點：

      * 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運動部件

      * 具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率

      * 具有毫秒級超快動態(tài)采集模式，可用于在線實時監(jiān)測

      * 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件

      * 配置靈活