光學(xué)3d表面輪廓儀對(duì)材料表面的三維輪廓測(cè)量，粗糙度測(cè)量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析，能直接測(cè)量較大面積的樣品，而不用通過(guò)拼接。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。CF4激光共聚焦傳感器內(nèi)，被照亮的小孔成像在被測(cè)量的表面，激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測(cè)物上，只有當(dāng)焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對(duì)的時(shí)候，探測(cè)器才記錄到一個(gè)表面信號(hào)。因此物鏡得通過(guò)小的垂直步位移動(dòng)，使信號(hào)通過(guò)位移傳感器的位置移動(dòng)被測(cè)出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù)，該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。

　　光學(xué)3d表面輪廓儀可以輕易的傳輸并且設(shè)置在任意一個(gè)地方進(jìn)行使用，特別為大體積樣品的測(cè)量而開(kāi)發(fā)，例如，軋輥和車(chē)身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查，只需幾分鐘準(zhǔn)備便可進(jìn)行測(cè)量，并且可以方便地架設(shè)在測(cè)試對(duì)象上，因?yàn)樗闹亓亢茌p。根據(jù)不同測(cè)量要求可以編輯不同的應(yīng)用方案。配有鼻輪和解決方案軟件的光學(xué)3d表面輪廓儀可滿(mǎn)足了各種各樣的測(cè)量任務(wù)。點(diǎn)、線、面三種測(cè)量模式，應(yīng)對(duì)從簡(jiǎn)單到復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)。

　　出廠前已完成精度校準(zhǔn)，無(wú)需在日常使用中進(jìn)行校準(zhǔn)操作，無(wú)需對(duì)樣品傾斜校正，存在較小傾斜角度仍能正常測(cè)量，受環(huán)境振動(dòng)、光線、濕度和溫度等因素影響小，無(wú)需恒溫恒濕環(huán)境。

　　光學(xué)3d表面輪廓儀操作步驟：

　　1、將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；

　　2、將夾具放置在載物臺(tái)上；

　　3、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；

　　4、使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

　　5、完成掃描設(shè)置和命名等操作；

　　6、點(diǎn)擊開(kāi)始測(cè)量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會(huì)）；

　　7、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“去除外形”，采用默認(rèn)參數(shù)，點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

　　8、進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，增刪參數(shù)類(lèi)型。